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鈦酸鍶如何應(yīng)用更便利 |
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| 鈦酸鍶是電子工業(yè)重要原料，用以自動調(diào)節(jié)加熱元件和制造具有消磁作用的元器件。在陶瓷領(lǐng)域中用做制造陶瓷電容器、壓電陶瓷材料、陶瓷敏感元件、微波陶瓷元件。還可用做顏料、搪瓷、耐熱材料、絕緣材料。鈦酸鍶單晶可用做光學(xué)材料及人造寶石。 鈦酸鍶晶體具有高折射指數(shù)和高介電常數(shù)，它的單晶體被用作光學(xué)材料及人造寶石。以鈦酸鍶為基材的低溫超導(dǎo)體也已制成。其應(yīng)用舉例如下： 1. 制備一種工藝簡單，穩(wěn)定性好的鈦酸鍶晶體管。 采用替位摻雜法，使用激光分子束外延，脈沖激光沉積，磁控濺射，電子束蒸發(fā)或分子束外延等制膜方法，在單晶基片(如SrTiO3, YSZ,LaAlO3,Nb:SrTiO3等)上制備出n型鈦酸鍶SrAxTi1-xO3或 Sr1-xLaxTiO3薄膜材料，其中A是Nb或Sb；制備出p型鈦酸鍶SrBxTi1-xO3 薄膜材料，其中B是In或Mn。所有x的取值范圍為0.005-0.5。 把一層p型鈦酸鍶和一層n型鈦酸鍶外延在一起，這兩層導(dǎo)電類型不同的鈦酸鍶薄膜在界面處就形成一個p-n結(jié)，這個p-n結(jié)就構(gòu)成了鈦酸鍶晶體二極管；把一層p型鈦酸鍶和一層n型鈦酸鍶和另一層p型鈦 酸鍶外延在一起，這三層鈦酸鍶薄膜就形成一個p-n-p結(jié)，這個p- n-p結(jié)就構(gòu)成了p-n-p鈦酸鍶三極管；把一層n型鈦酸鍶，一層p型鈦酸鍶和另一層n型鈦酸鍶外延在一起，這三層鈦酸鍶薄膜就形成了 一個n-p-n結(jié)，這個n-p-n結(jié)就構(gòu)成了n-p-n鈦酸鍶三極管。 所述的鈦酸鍶晶體管，采用全外延工藝，因此每層的層厚和載流子濃度都較鍺硅晶體管更易控制，且結(jié)面更銳，而鈦酸鍶熔點(diǎn)高，穩(wěn)定性好，故鈦酸鍶晶體管將成為一種廣泛應(yīng)用的電子器件，亦可發(fā)展成為鈦酸鍶集成電路。 2. 制備一種非晶鈦酸鍶薄膜器件的制備方法,包括:在基底表面旋涂底電極溶液后退火,形成底電極；在所述底電極表面旋涂鈦酸鍶溶液后進(jìn)行烘烤,形成酸鍶薄膜；將所述鈦酸鍶薄膜進(jìn)行退火處理，形成非晶薄膜；在所述非晶薄膜表面進(jìn)行電子束蒸發(fā)濺射形成頂電極,得到非晶鈦酸鍶薄膜器件。 該非晶鈦酸鍶薄膜器件的創(chuàng)新點(diǎn)在器件的主體氧化物薄膜層為非晶薄膜，并且制備方法工藝簡單，制備過程中對溫度的要求較低，能夠進(jìn)行批量生產(chǎn)，而且制備得到的鈦酸鍶薄膜器件的穩(wěn)定性好、耐疲勞能夠循環(huán)使用，開關(guān)比大，400℃退火時開關(guān)比達(dá)到103，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 |